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无尘压力烘烤箱对光刻胶良率的质量保障 -凯发一触即发

作者:admin 编辑:志胜 来源:http://www.csunsz.com 发布日期:2025/9/18 10:00:54
在半导体制造领域,光刻胶作为图形转移的核心材料,其涂覆后的烘干工艺直接决定线路精度与良率。
 
无尘压力烘烤箱通过恒压控温与粒子过滤的双重技术优势,成为光刻胶固化不可或缺的装备。其必要性主要体现在几个方面:
 
因为加压环境能抑制溶剂挥发速率,避免胶膜表面因快速干燥产生应力裂纹;
 
防止尘埃附着导致显影缺陷;
 
提升后续曝光时的线宽一致性。
 
无尘压力烘烤箱采用普通烘箱时光刻胶cd均匀性波动达±8%,而压力烤箱可将其压缩至±2%以内,无尘压力烤箱的抗微振设计能消除热对流干扰。
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